Cũng giống như các hệ thống pháp luật khác, hệ thống pháp luật về trách nhiệm bồi thường của Nhà nước cũng có quá trình hình thành, phát triển và hoàn thiện qua các thời kỳ khác nhau, tại bài viết này sẽ khái quát hóa quá trình đó qua hai giai đoạn trước và sau khi ban hành Luật trách nhiệm bồi thường của Nhà nước năm 2009, cụ thể như sau:
Chế định pháp luật về trách nhiệm bồi thường của Nhà nước đã được Nhà nước ta ghi nhận từ rất sớm. Điều này được thể hiện ngay từ Hiến pháp 1959 tại Điều 29: “Người bị thiệt hại về hành vi vi phạm pháp luật của nhân viên cơ quan nhà nước có quyền được bồi thường”. Hiến pháp năm 1980 khẳng định pháp luật bảo hộ tính mạng, tài sản, danh dự và nhân phẩm của công dân bên cạnh việc xác định mọi hành động xâm phạm quyền lợi chính đáng của công dân phải được kịp thời sửa chữa và xử lý nghiêm minh (Điều 70), người bị thiệt hại có quyền được bồi thường (Điều 73) Hiến pháp năm 1992 tiếp tục khẳng định nguyên tắc “Mọi hoạt động xâm phạm lợi ích Nhà nước và lợi ích hợp pháp của công dân đều bị xử lý theo pháp luật” (Điều 12), nhưng đã phân biệt hai loại trách nhiệm, trách nhiệm bồi thường trong hoạt động tố tụng hình sự (Điều 72) và trách nhiệm bồi thường nói chung (Điều 74). Trên cơ sở nguyên tắc chung của Hiến pháp năm 1992, Bộ Luật Dân sự 1995 đã quy định hai điều về trách nhiệm bồi thường của Nhà nước tại các Điều 623 về trách nhiệm bồi thường của cơ quan nhà nước nói chung và Điều 624 về trách nhiệm bồi thường của cơ quan tiến hành tố tụng hình sự nói riêng. Tiếp tục kế thừa Bộ Luật Dân sự 1995, 2005, 2015 đều có các điều khoản cụ thể quy định về trách nhiệm bồi thường của Nhà nước.
Cụ thể hóa quy định của Bộ Luật Dân sự 1995, ngày 03/5/1997 Chính phủ đã ban hành Nghị định số 47/CP về việc giải quyết bồi thường thiệt hại do công chức, viên chức nhà nước, người có thẩm quyền của cơ quan tiến hành tố tụng gây ra. Năm 2003, Ủy ban Thường vụ Quốc hội tiếp tục ban hành Nghị quyết số 388/2003/NQ- UBTNQH11 về bồi thường thiệt hại cho người bị oan do người có thẩm quyền trong hoạt động tố tụng gây ra cùng với đó là 2 văn bản hướng dẫn Nghị quyết 388 được ban hành là Thông tư liên tịch số 01/2004/TTLT-VKSNDTC-BCA- TANDTC-BTP-BQP-BTC ngày 25/3/2004 hướng dẫn thi hành một số quy định của Nghị quyết số 388/NQ-UBTVQH11 và Thông tư liên tịch số 04/2006/TTLT-VKSNDTC- TANDTC-BCA-BTP-BQP-BTC về hướng dẫn thi hành một số quy định của Nghị quyết 388/NQ-UBTVQH11. Nghị quyết 388 đã phần nào góp phần khắc phục những hạn chế, vướng mắc mà Nghị định 47/CP tuy nhiên, do phạm vi điều chỉnh hẹp (chỉ bồi thường cho các trường hợp bị oan trong tố tụng hình sự) nên tác động của Nghị quyết này còn thấp.
Để khắc phục những hạn chế của các văn bản về trách nhiệm bồi thường của Nhà nước nêu trên, ngày 18/6/2009, Quốc hội khóa XII đã thông qua Luật Trách nhiệm bồi thường của Nhà nước và chính thức có hiệu lực kể từ ngày 01/01/2010. Luật Trách nhiệm bồi thường của Nhà nước ra đời đã khắc phục cơ bản những hạn chế của các văn bản trước đó quy định trong lĩnh vực bồi thường của Nhà nước, xác định rõ nhiệm vụ, cơ quan quản lý nhà nước về bồi thường. Đồng thời, đây là lần đầu tiên chế định Trách nhiệm bồi thường của Nhà nước được ghi nhận một cách đầy đủ và toàn diện ở tầm văn bản luật nhằm tạo cơ chế khả thi của chế định này trên thực tiễn.
Luật Trách nhiệm bồi thường của Nhà nước ra đời đã nhất thể hoá pháp luật về bồi thường thiệt hại do người thi hành công vụ gây ra, khắc phục những hạn chế về bồi thường thiệt hại trong hoạt động hành chính và tố tụng hình sự; tạo cơ chế pháp lý mới, đồng bộ, hiệu quả để người bị thiệt hại thực hiện tốt hơn quyền được bồi thường của mình đối với những thiệt hại do hành vi trái pháp luật của người thi hành công vụ; tạo thuận lợi cho người bị thiệt hại trong việc thực hiện quyền yêu cầu bồi thường của mình, mặt khác, góp phần tăng cường trách nhiệm của các cơ quan nhà nước, của công chức trong quá trình thực thi công vụ. Trên cơ sở khắc phục những hạn chế của pháp luật về trách nhiệm bồi thường thiệt hại trước đó, Luật Trách nhiệm bồi thường của Nhà nước ra đời.